一种矩形平面磁控溅射阴极

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN200820033188.X

申请日：

2008-03-26

公开(公告)号：

CN201162042Y

公开(公告)日：

2008-12-10

发明(设计)人：

陈长琦郭江涛王君

申请人：

申请人地址：

230009安徽省合肥市屯溪路193号

IPC主分类号：

C23C1435

IPC分类号：

代理机构：

安徽省合肥新安专利代理有限责任公司

代理人：

何梅生

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2008-12-10	授权	授权
2013-05-15	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101457537992 IPC(主分类):C23C 14/35 专利号:ZL200820033188X 申请日:20080326 授权公告日:20081210 终止日期:20120326

共 50 条

[1]

一种矩形平面磁控溅射阴极 [P].

陈长琦 ;

郭江涛 ;

王君 .

中国专利 :CN101250687A ,2008-08-27

[2]

一种矩形平面磁控溅射阴极 [P].

苏宜龙 ;

赵子东 .

中国专利 :CN201981253U ,2011-09-21

[3]

一种矩形平面磁控溅射阴极 [P].

彭寿 ;

葛承全 ;

张超群 ;

井治 ;

张仰平 ;

李险峰 .

中国专利 :CN203462120U ,2014-03-05

[4]

一种矩形平面磁控溅射阴极 [P].

彭寿 ;

葛承全 ;

张超群 ;

井治 ;

张仰平 ;

李险峰 .

中国专利 :CN103602953A ,2014-02-26

[5]

平面磁控溅射阴极 [P].

黄登聪 ;

彭立全 .

中国专利 :CN103046009A ,2013-04-17

[6]

平面磁控溅射阴极 [P].

黄登聪 ;

彭立全 .

中国专利 :CN103050358A ,2013-04-17

[7]

一种可调非平衡矩形平面磁控溅射阴极 [P].

郭江涛 ;

文继志 .

中国专利 :CN113073301A ,2021-07-06

[8]

一种平面磁控溅射阴极 [P].

朱刚毅 ;

朱刚劲 ;

朱文廓 .

中国专利 :CN108588663A ,2018-09-28

[9]

一种磁控溅射平面阴极 [P].

王正安 .

中国专利 :CN208562507U ,2019-03-01

[10]

磁控溅射用平面阴极及磁控溅射装置 [P].

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN223268739U ,2025-08-26

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