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一种可调非平衡矩形平面磁控溅射阴极
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202110319424.4
申请日：
2021-03-25
公开(公告)号：
CN113073301A
公开(公告)日：
2021-07-06
发明(设计)人：
郭江涛
文继志
申请人：
申请人地址：
314006 浙江省嘉兴市南湖区大桥镇顺泽路1515号2号楼101室
IPC主分类号：
C23C1435
IPC分类号：
代理机构：
嘉兴启帆专利代理事务所(普通合伙) 33253
代理人：
廖银洪
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-07-06 | 公开 | 公开 |
| 2021-07-23 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/35 申请日:20210325 |