一种矩形平面磁控溅射阴极

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200810020139.7

申请日：

2008-03-26

公开(公告)号：

CN101250687A

公开(公告)日：

2008-08-27

发明(设计)人：

陈长琦郭江涛王君

申请人：

申请人地址：

230009安徽省合肥市屯溪路193号

IPC主分类号：

C23C1435

IPC分类号：

代理机构：

安徽省合肥新安专利代理有限责任公司

代理人：

何梅生

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2008-08-27	公开	公开
2011-09-14	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101183801821 IPC(主分类):C23C 14/35 专利申请号:2008100201397 公开日:20080827
2008-10-22	实质审查的生效	实质审查的生效

共 50 条

[1]

一种矩形平面磁控溅射阴极 [P].

陈长琦 ;

郭江涛 ;

王君 .

中国专利 :CN201162042Y ,2008-12-10

[2]

一种矩形平面磁控溅射阴极 [P].

苏宜龙 ;

赵子东 .

中国专利 :CN201981253U ,2011-09-21

[3]

一种矩形平面磁控溅射阴极 [P].

彭寿 ;

葛承全 ;

张超群 ;

井治 ;

张仰平 ;

李险峰 .

中国专利 :CN103602953A ,2014-02-26

[4]

一种矩形平面磁控溅射阴极 [P].

彭寿 ;

葛承全 ;

张超群 ;

井治 ;

张仰平 ;

李险峰 .

中国专利 :CN203462120U ,2014-03-05

[5]

平面磁控溅射阴极 [P].

黄登聪 ;

彭立全 .

中国专利 :CN103046009A ,2013-04-17

[6]

平面磁控溅射阴极 [P].

黄登聪 ;

彭立全 .

中国专利 :CN103050358A ,2013-04-17

[7]

一种可调非平衡矩形平面磁控溅射阴极 [P].

郭江涛 ;

文继志 .

中国专利 :CN113073301A ,2021-07-06

[8]

一种平面磁控溅射阴极 [P].

朱刚毅 ;

朱刚劲 ;

朱文廓 .

中国专利 :CN108588663A ,2018-09-28

[9]

双面溅射的平面磁控溅射阴极 [P].

徐树深 ;

王瑛 ;

牛亚平 .

中国专利 :CN1439740A ,2003-09-03

[10]

一种高功率平面磁控溅射阴极 [P].

陈理 ;

李国强 .

中国专利 :CN201301339Y ,2009-09-02

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