平面磁控溅射阴极

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110314557.9

申请日：

2011-10-17

公开(公告)号：

CN103050358A

公开(公告)日：

2013-04-17

发明(设计)人：

黄登聪彭立全

申请人：

申请人地址：

518109 广东省深圳市宝安区龙华镇油松第十工业区东环二路2号

IPC主分类号：

H01J3704

IPC分类号：

H01J3734

代理机构：

代理人：

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-04-17	公开	公开
2014-10-22	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101587795122 IPC(主分类):H01J 37/04 专利申请号:2011103145579 申请日:20111017
2016-12-07	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101742843295 IPC(主分类):H01J 37/04 专利申请号:2011103145579 申请公布日:20130417

共 50 条

[1]

平面磁控溅射阴极 [P].

黄登聪 ;

彭立全 .

中国专利 :CN103046009A ,2013-04-17

[2]

双面溅射的平面磁控溅射阴极 [P].

徐树深 ;

王瑛 ;

牛亚平 .

中国专利 :CN1439740A ,2003-09-03

[3]

一种平面磁控溅射阴极 [P].

朱刚毅 ;

朱刚劲 ;

朱文廓 .

中国专利 :CN108588663A ,2018-09-28

[4]

双闭环磁控溅射阴极 [P].

彭寿 ;

吴以军 ;

刘小雨 ;

王宝玉 .

中国专利 :CN106435501A ,2017-02-22

[5]

双闭环磁控溅射阴极 [P].

彭寿 ;

吴以军 ;

刘小雨 ;

王宝玉 .

中国专利 :CN206033870U ,2017-03-22

[6]

一种矩形平面磁控溅射阴极 [P].

陈长琦 ;

郭江涛 ;

王君 .

中国专利 :CN101250687A ,2008-08-27

[7]

一种矩形平面磁控溅射阴极 [P].

陈长琦 ;

郭江涛 ;

王君 .

中国专利 :CN201162042Y ,2008-12-10

[8]

一种矩形平面磁控溅射阴极 [P].

彭寿 ;

葛承全 ;

张超群 ;

井治 ;

张仰平 ;

李险峰 .

中国专利 :CN103602953A ,2014-02-26

[9]

一种矩形平面磁控溅射阴极 [P].

苏宜龙 ;

赵子东 .

中国专利 :CN201981253U ,2011-09-21

[10]

一种矩形平面磁控溅射阴极 [P].

彭寿 ;

葛承全 ;

张超群 ;

井治 ;

张仰平 ;

李险峰 .

中国专利 :CN203462120U ,2014-03-05

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