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沉积非晶硅的成膜方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201810833460.0
申请日：
2018-07-26
公开(公告)号：
CN109148263A
公开(公告)日：
2019-01-04
发明(设计)人：
刘善善
朱黎敏
朱兴旺
申请人：
申请人地址：
201203 上海市浦东新区张江高科技园区祖冲之路1399号
IPC主分类号：
H01L2102
IPC分类号：
代理机构：
上海浦一知识产权代理有限公司 31211
代理人：
戴广志
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-01-04 | 公开 | 公开 |
| 2020-06-26 | 发明专利申请公布后的驳回 | 发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L 21/02 申请公布日:20190104 |
| 2019-01-29 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/02 申请日:20180726 |