一种深度等离子刻蚀机

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202023349458.8

申请日：

2020-12-31

公开(公告)号：

CN214175970U

公开(公告)日：

2021-09-10

发明(设计)人：

廖海涛

申请人：

申请人地址：

226400 江苏省南通市如东县掘港街道金山路1号

IPC主分类号：

H01J3732

IPC分类号：

H01L2167

代理机构：

北京商专润文专利代理事务所(普通合伙) 11317

代理人：

陈平

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-09-10	授权	授权

共 50 条

[1]

等离子刻蚀机 [P].

张小林 ;

白家均 ;

刘文慧 .

中国专利 :CN209216915U ,2019-08-06

[2]

一种等离子刻蚀机 [P].

孙显强 .

中国专利 :CN205944037U ,2017-02-08

[3]

一种等离子刻蚀机 [P].

郭颂 ;

刘海洋 ;

王铖熠 ;

李娜 ;

刘小波 ;

张军 ;

胡冬冬 ;

许开东 .

中国专利 :CN211629034U ,2020-10-02

[4]

一种刻蚀均匀的等离子刻蚀机 [P].

全宰弘 ;

陈欣鑫 .

中国专利 :CN221125876U ,2024-06-11

[5]

一种微波等离子刻蚀机 [P].

袁稳 ;

郑华 ;

王政磊 .

中国专利 :CN220432028U ,2024-02-02

[6]

一种等离子刻蚀机夹具 [P].

程书萌 ;

刘婷婷 .

中国专利 :CN216120205U ,2022-03-22

[7]

等离子刻蚀机 [P].

欧飞 ;

杨晓峰 ;

谌泽林 ;

刘学光 ;

万稳 .

中国专利 :CN105225989B ,2016-01-06

[8]

一种等离子刻蚀机刻蚀腔及等离子体刻蚀机 [P].

陆桥宏 ;

何东旺 ;

曹俊 ;

薛燕 .

中国专利 :CN118675973A ,2024-09-20

[9]

一种挡环装置、等离子刻蚀机刻蚀腔及等离子刻蚀机 [P].

郭颂 ;

刘小波 ;

陈兆超 ;

车东晨 ;

叶联 ;

刘磊 ;

刘海洋 ;

胡冬冬 ;

许开东 .

中国专利 :CN117352355A ,2024-01-05

[10]

一种等离子刻蚀机刻蚀腔及等离子体刻蚀机 [P].

陆桥宏 ;

何东旺 ;

曹俊 ;

薛燕 .

中国专利 :CN118675973B ,2025-06-17

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