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半导体腔室的固定组件及半导体腔室
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202010445968.0
申请日：
2020-05-22
公开(公告)号：
CN111613506A
公开(公告)日：
2020-09-01
发明(设计)人：
王德志
柳朋亮
申请人：
申请人地址：
100176 北京市大兴区经济技术开发区文昌大道8号
IPC主分类号：
H01J3720
IPC分类号：
H01J37305
H01J3732
H01L2167
H01L21687
代理机构：
北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315
代理人：
施敬勃
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-09-25 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 37/20 申请日:20200522 |
| 2020-09-01 | 公开 | 公开 |