学术探索
学术期刊
学术作者
新闻热点
数据分析
智能评审

半导体腔室

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202311279379.X
申请日：
2023-09-28
公开(公告)号：
CN119710614A
公开(公告)日：
2025-03-28
发明(设计)人：
王迪
申请人：
北京北方华创微电子装备有限公司
申请人地址：
100176 北京市大兴区经济技术开发区文昌大道8号
IPC主分类号：
C23C14/56
IPC分类号：
C23C14/02 C23C14/54 H01J37/32
代理机构：
北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315
代理人：
周永强
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
安徽省 宣城市
引用
下载
收藏
法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-04-15 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):C23C 14/56申请日:20230928
2025-03-28 公开 公开
共 50 条
[1]
半导体腔室的承载装置及半导体腔室 [P]. 
王福来 .
中国专利 :CN114695243A ,2022-07-01
[2]
半导体腔室的承载装置及半导体腔室 [P]. 
王福来 .
中国专利 :CN114695243B ,2024-10-25
[3]
半导体腔室 [P]. 
杨依龙 .
中国专利 :CN114107931A ,2022-03-01
[4]
半导体腔室 [P]. 
高晓丽 ;
傅新宇 .
中国专利 :CN115044878A ,2022-09-13
[5]
半导体腔室 [P]. 
范天庆 .
中国专利 :CN120026299A ,2025-05-23
[6]
半导体腔室 [P]. 
张同文 .
中国专利 :CN114196931A ,2022-03-18
[7]
半导体腔室 [P]. 
鲁艳成 .
中国专利 :CN114156211A ,2022-03-08
[8]
半导体腔室 [P]. 
刘晓杰 ;
赵永飞 ;
赵佳彬 ;
李补忠 ;
郑建宇 ;
王旸 .
中国专利 :CN218004807U ,2022-12-09
[9]
半导体腔室的固定组件及半导体腔室 [P]. 
王德志 ;
柳朋亮 .
中国专利 :CN111613506A ,2020-09-01
[10]
半导体腔室的下电极组件及半导体腔室 [P]. 
王岩 ;
王伟 .
中国专利 :CN217182157U ,2022-08-12
12345