双层外延片的制造设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201821995486.7

申请日：

2018-11-30

公开(公告)号：

CN209227101U

公开(公告)日：

2019-08-09

发明(设计)人：

陈海波

申请人：

申请人地址：

201707 上海市青浦区北青公路8228号二区48号

IPC主分类号：

C30B3118

IPC分类号：

C30B2906 C30B2520 C30B2516

代理机构：

上海脱颖律师事务所 31259

代理人：

李强;倪嘉慧

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-08-09	授权	授权

共 50 条

[1]

双层外延片的制备方法、设备及双层外延片 [P].

陈海波 .

中国专利 :CN109509702A ,2019-03-22

[2]

双层外延片的制备方法、设备及双层外延片 [P].

陈海波 ;

陈建纲 .

中国专利 :CN109509702B ,2024-05-28

[3]

双层外延片的生长方法及双层外延片 [P].

陈海波 ;

陈建纲 .

中国专利 :CN109371471B ,2019-02-22

[4]

外延片的制造方法及外延片 [P].

铃木克佳 ;

铃木温 .

中国专利 :CN114930500A ,2022-08-19

[5]

外延片的制造方法 [P].

古屋田荣 ;

高石和成 ;

桥井友裕 ;

村山克彦 ;

加藤健夫 .

中国专利 :CN101415866B ,2009-04-22

[6]

外延片的制造方法 [P].

大槻刚 ;

水泽康 ;

铃木克佳 ;

石崎顺也 .

中国专利 :CN110678964A ,2020-01-10

[7]

外延片的制造方法 [P].

铃木克佳 ;

铃木温 .

日本专利 :CN114930500B ,2025-12-05

[8]

外延片生产设备 [P].

张健 .

中国专利 :CN204589372U ,2015-08-26

[9]

外延片磨边设备 [P].

丁云鑫 ;

徐小明 ;

刘俊卿 ;

周永君 ;

李东昇 .

中国专利 :CN204361060U ,2015-05-27

[10]

硅外延片的制造方法及硅外延片 [P].

金谷晃一 ;

西泽毅 .

中国专利 :CN1864245A ,2006-11-15

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