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一种半导体生产加工用固定装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202021021648.4
申请日：
2020-06-06
公开(公告)号：
CN212434581U
公开(公告)日：
2021-01-29
发明(设计)人：
龙天明
申请人：
申请人地址：
643000 四川省自贡市沿滩区高新工业园区板仓路219号1号厂房B栋1-15陈列室
IPC主分类号：
H01L2167
IPC分类号：
代理机构：
深圳峰诚志合知识产权代理有限公司 44525
代理人：
赵爱婷
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-01-29 | 授权 | 授权 |
| 2022-05-17 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20200606 授权公告日:20210129 终止日期:20210606 |