大尺寸回转平台导轨平面度测量装置及测量方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200910047771.5

申请日：

2009-03-19

公开(公告)号：

CN101504282A

公开(公告)日：

2009-08-12

发明(设计)人：

张雪萍王和平姚振强徐正松沈大明

申请人：

申请人地址：

200240上海市闵行区东川路800号

IPC主分类号：

G01B1322

IPC分类号：

代理机构：

上海交达专利事务所

代理人：

王锡麟;王桂忠

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2009-08-12	公开	公开
2009-10-07	实质审查的生效	实质审查的生效
2015-05-13	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101609142152 IPC(主分类):G01B 13/22 专利号:ZL2009100477715 申请日:20090319 授权公告日:20101229 终止日期:20140319
2010-12-29	授权	授权

共 50 条

[21]

一种线材平面度测量装置及测量方法 [P].

刘玉国 ;

汪千瑾 ;

马驰 .

中国专利 :CN113566683A ,2021-10-29

[22]

一种平面度及平行度测量装置和测量方法 [P].

潘本一 .

中国专利 :CN103411577B ,2013-11-27

[23]

大尺寸平面光栅栅距测量装置及其测量方法 [P].

刘景涛 ;

付大为 ;

李腾飞 .

中国专利 :CN119573578A ,2025-03-07

[24]

大尺寸晶圆形貌测量装置及测量方法 [P].

孙晶露 ;

马砚忠 ;

袁明波 ;

郁健 ;

陈鲁 .

中国专利 :CN119833421A ,2025-04-15

[25]

大尺寸晶圆形貌测量装置及测量方法 [P].

孙晶露 ;

马砚忠 ;

袁明波 ;

郁健 ;

陈鲁 .

中国专利 :CN119833421B ,2025-11-21

[26]

方棒尺寸测量装置及测量方法 [P].

曾春严 ;

赵世兴 ;

黄学银 ;

蒋宗辉 .

中国专利 :CN114088040A ,2022-02-25

[27]

方棒尺寸测量装置及测量方法 [P].

曾春严 ;

赵世兴 ;

黄学银 ;

蒋宗辉 .

中国专利 :CN114088040B ,2024-05-31

[28]

基于大尺寸光斑的光栅干涉测量装置及测量方法 [P].

边心田 ;

左芬 ;

成金龙 ;

程菊 .

中国专利 :CN120274676A ,2025-07-08

[29]

一种平面光学元件平面度测量装置及测量方法 [P].

许增奇 ;

刘选民 ;

刘新武 ;

苏瑛 ;

张瑜 ;

王章利 ;

郭芮 ;

张峰 ;

王阜超 ;

杨硕 .

中国专利 :CN117781828A ,2024-03-29

[30]

平面度测量方法、装置、设备及存储介质 [P].

周逸铭 ;

秦浩 ;

许应 .

中国专利 :CN119124047A ,2024-12-13

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