一种碳化硅表面氧化膜的制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510685847.2

申请日：

2015-10-21

公开(公告)号：

CN106611700A

公开(公告)日：

2017-05-03

发明(设计)人：

郑柳杨霏王方方李玲李永平刘瑞吴昊钮应喜张文婷王嘉铭桑玲

申请人：

申请人地址：

102211 北京市昌平区小汤山镇大东流村路270号（未来科技城）

IPC主分类号：

H01L2104

IPC分类号：

代理机构：

北京安博达知识产权代理有限公司 11271

代理人：

徐国文

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-05-31	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101722960058 IPC(主分类):H01L 21/04 专利申请号:2015106858472 申请日:20151021
2017-05-03	公开	公开
2019-07-12	授权	授权

共 50 条

[1]

一种碳化硅表面氧化膜的制备方法 [P].

郑柳 ;

杨霏 ;

王方方 ;

李玲 ;

李永平 ;

朱韫晖 ;

夏经华 ;

田亮 ;

查祎英 ;

李嘉琳 .

中国专利 :CN106611696A ,2017-05-03

[2]

一种碳化硅器件表面制绒方法 [P].

袁俊 ;

杨永江 .

中国专利 :CN108365028A ,2018-08-03

[3]

碳化硅表面处理方法 [P].

余盛杰 ;

肖明 ;

廖家豪 .

中国专利 :CN121075910A ,2025-12-05

[4]

一种碳化硅衬底的处理方法 [P].

吴昊 ;

吴军民 ;

金锐 ;

汤广福 ;

潘艳 ;

邱宇峰 ;

田亮 ;

孙俊敏 ;

李晨 ;

吴斌 ;

齐向 .

中国专利 :CN111668088B ,2025-07-11

[5]

一种碳化硅衬底的处理方法 [P].

吴昊 ;

吴军民 ;

金锐 ;

汤广福 ;

潘艳 ;

邱宇峰 ;

田亮 ;

孙俊敏 ;

李晨 ;

吴斌 ;

齐向 .

中国专利 :CN111668088A ,2020-09-15

[6]

一种铝合金表面纳米碳化硅复合氧化膜的制备方法 [P].

王森林 ;

高善平 ;

甘世溪 ;

陈宗旭 ;

李颖 .

中国专利 :CN118773699A ,2024-10-15

[7]

碳化硅膜的制备方法 [P].

涂溶 ;

朱佩佩 ;

章嵩 ;

张联盟 .

中国专利 :CN103911597B ,2014-07-09

[8]

一种碳化硅材料制备方法、碳化硅材料及碳化硅部件 [P].

杜宗伟 ;

杨佐东 ;

罗春 ;

陈欣 ;

张文平 .

中国专利 :CN120138603A ,2025-06-13

[9]

一种碳化硅表面的处理方法 [P].

吴昊 ;

邓小川 ;

成志杰 ;

李旭 ;

李轩 ;

张波 .

中国专利 :CN114188215A ,2022-03-15

[10]

一种碳化硅陶瓷表面沉积超高纯碳化硅膜的方法 [P].

孙伟 ;

李丽霞 ;

陈家淦 .

中国专利 :CN119465052A ,2025-02-18

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