一种碳化硅器件表面制绒方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201810086987.1

申请日：

2018-01-30

公开(公告)号：

CN108365028A

公开(公告)日：

2018-08-03

发明(设计)人：

袁俊杨永江

申请人：

申请人地址：

100176 北京市大兴区经济技术开发区通惠干渠路17号院

IPC主分类号：

H01L310236

IPC分类号：

H01L213065 C30B3312

代理机构：

北京中创阳光知识产权代理有限责任公司 11003

代理人：

张宇锋

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-08-03	公开	公开
2018-08-28	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 31/0236 申请日:20180130
2022-05-27	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L 31/0236 申请公布日:20180803

共 50 条

[1]

一种碳化硅器件双层金属的刻蚀方法 [P].

钟宇 ;

苑登文 ;

韩吉胜 ;

汉多科·林纳威赫 .

中国专利 :CN117637470B ,2024-08-02

[2]

一种碳化硅器件双层金属的刻蚀方法 [P].

钟宇 ;

苑登文 ;

韩吉胜 ;

汉多科·林纳威赫 .

中国专利 :CN117637470A ,2024-03-01

[3]

一种碳化硅表面氧化膜的制备方法 [P].

郑柳 ;

杨霏 ;

王方方 ;

李玲 ;

李永平 ;

刘瑞 ;

吴昊 ;

钮应喜 ;

张文婷 ;

王嘉铭 ;

桑玲 .

中国专利 :CN106611700A ,2017-05-03

[4]

碳化硅表面处理方法 [P].

余盛杰 ;

肖明 ;

廖家豪 .

中国专利 :CN121075910A ,2025-12-05

[5]

碳化硅器件 [P].

龚轶 ;

刘磊 ;

刘伟 ;

王睿 .

中国专利 :CN114512531A ,2022-05-17

[6]

碳化硅器件 [P].

吴健 ;

刘立安 .

中国专利 :CN222638984U ,2025-03-18

[7]

碳化硅器件 [P].

陈伟钿 ;

周永昌 ;

张永杰 .

中国专利 :CN208655573U ,2019-03-26

[8]

碳化硅器件和用于制造碳化硅器件的方法 [P].

R.柯恩 ;

R.鲁普 .

中国专利 :CN109427563A ,2019-03-05

[9]

碳化硅器件和用于形成碳化硅器件的方法 [P].

E·菲尔古特 ;

R·K·约希 ;

R·西米尼克 ;

T·巴斯勒 ;

M·格鲁贝尔 ;

J·希尔森贝克 ;

D·彼得斯 ;

R·鲁普 ;

W·肖尔茨 .

德国专利 :CN120390431A ,2025-07-29

[10]

碳化硅器件和用于形成碳化硅器件的方法 [P].

E.菲尔古特 ;

R.K.约希 ;

R.西米尼克 ;

T.巴斯勒 ;

M.格鲁贝尔 ;

J.希尔森贝克 ;

D.彼得斯 ;

R.鲁普 ;

W.肖尔茨 .

德国专利 :CN110676322B ,2025-05-30

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