激光干涉仪和使用该激光干涉仪的测量装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200880124842.0

申请日：

2008-08-06

公开(公告)号：

CN101918788A

公开(公告)日：

2010-12-15

发明(设计)人：

中薮俊博田村阳一谷内秀夫清水昭裕

申请人：

申请人地址：

日本石川县

IPC主分类号：

G01B902

IPC分类号：

G01B1100

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

王轶;李伟

法律状态：

发明专利申请公布后的视为撤回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-01-16	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101495211033 IPC(主分类):G01B 9/02 专利申请号:2008801248420 申请公布日:20101215
2011-02-23	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101038174586 IPC(主分类):G01B 9/02 专利申请号:2008801248420 申请日:20080806
2010-12-15	公开	公开

共 50 条

[1]

激光干涉仪和激光干涉仪的光轴调整方法 [P].

北川润 ;

林畅仁 ;

山田耕平 .

日本专利 :CN118999344A ,2024-11-22

[2]

激光干涉仪测量装置 [P].

张俊 .

中国专利 :CN101551235A ,2009-10-07

[3]

激光干涉仪 [P].

北川润 ;

山田耕平 .

日本专利 :CN120293294A ,2025-07-11

[4]

激光干涉仪 [P].

山田耕平 ;

清水武士 .

日本专利 :CN117705262A ,2024-03-15

[5]

激光干涉仪 [P].

北川润 .

中国专利 :CN114111999A ,2022-03-01

[6]

激光干涉仪 [P].

林畅仁 .

日本专利 :CN118687670A ,2024-09-24

[7]

激光干涉仪 [P].

山田耕平 .

日本专利 :CN114964352B ,2024-01-16

[8]

激光干涉仪 [P].

山田耕平 ;

松尾敦司 .

日本专利 :CN118111549A ,2024-05-31

[9]

激光干涉仪 [P].

山田耕平 ;

清水武士 .

中国专利 :CN115406481A ,2022-11-29

[10]

激光干涉仪 [P].

白俊龙 ;

陈源 .

中国专利 :CN306372878S ,2021-03-12

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