激光干涉仪和激光干涉仪的光轴调整方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202410618380.9

申请日：

2024-05-17

公开(公告)号：

CN118999344A

公开(公告)日：

2024-11-22

发明(设计)人：

北川润林畅仁山田耕平

申请人：

精工爱普生株式会社

申请人地址：

日本东京

IPC主分类号：

G01B9/02015

IPC分类号：

G01B11/00 G01B11/26 G01H9/00

代理机构：

北京康信知识产权代理有限责任公司 11240

代理人：

赵曦

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-12-10	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G01B 9/02015申请日:20240517
2024-11-22	公开	公开

共 50 条

[1]

激光干涉仪 [P].

山田耕平 ;

松尾敦司 .

日本专利 :CN118111549A ,2024-05-31

[2]

激光干涉仪以及激光干涉仪的控制方法 [P].

山田耕平 .

日本专利 :CN114112000B ,2024-01-16

[3]

激光干涉仪及激光干涉仪的控制方法 [P].

林畅仁 .

中国专利 :CN115406519A ,2022-11-29

[4]

激光干涉仪以及激光干涉仪的控制方法 [P].

山田耕平 .

中国专利 :CN114112000A ,2022-03-01

[5]

激光干涉仪 [P].

山田耕平 ;

清水武士 .

日本专利 :CN117705262A ,2024-03-15

[6]

激光干涉仪 [P].

北川润 .

中国专利 :CN114111999A ,2022-03-01

[7]

激光干涉仪 [P].

山田耕平 .

日本专利 :CN114964352B ,2024-01-16

[8]

激光干涉仪 [P].

山田耕平 ;

清水武士 .

中国专利 :CN115406481A ,2022-11-29

[9]

激光干涉仪 [P].

山田耕平 ;

清水武士 .

日本专利 :CN114111998B ,2024-02-06

[10]

激光干涉仪 [P].

山田耕平 ;

清水武士 .

中国专利 :CN114111998A ,2022-03-01

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