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蒸镀掩模的制造方法及制造装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202110124821.6
申请日：
2021-01-29
公开(公告)号：
CN113308667A
公开(公告)日：
2021-08-27
发明(设计)人：
山田哲行
申请人：
申请人地址：
日本东京都
IPC主分类号：
C23C1404
IPC分类号：
C23C1424
C25D110
代理机构：
北京尚诚知识产权代理有限公司 11322
代理人：
邸万杰;徐飞跃
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-09-14 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/04 申请日:20210129 |
| 2021-08-27 | 公开 | 公开 |