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蒸镀掩模装置的制造装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201821435543.6
申请日：
2018-09-03
公开(公告)号：
CN208815101U
公开(公告)日：
2019-05-03
发明(设计)人：
冈本英介
申请人：
申请人地址：
日本东京都
IPC主分类号：
C23C1404
IPC分类号：
代理机构：
北京三友知识产权代理有限公司 11127
代理人：
黄纶伟;于英慧
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-05-03 | 授权 | 授权 |