真空蒸镀装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201010131993.8

申请日：

2010-03-23

公开(公告)号：

CN101876058A

公开(公告)日：

2010-11-03

发明(设计)人：

杨明生王曼媛刘惠森范继良王勇张华

申请人：

申请人地址：

523000 广东省东莞市南城区宏图高新科技开发区

IPC主分类号：

C23C1424

IPC分类号：

代理机构：

广州三环专利代理有限公司 44202

代理人：

张艳美;郝传鑫

法律状态：

专利权的保全及其解除

国省代码：

引用

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共 50 条

[1]

真空蒸镀设备 [P].

杨明生 ;

王曼媛 ;

刘惠森 ;

范继良 ;

王勇 ;

张华 .

中国专利 :CN201634756U ,2010-11-17

[2]

真空蒸镀装置 [P].

重冈伸之 .

中国专利 :CN104508172A ,2015-04-08

[3]

真空蒸镀装置和真空蒸镀方法 [P].

大工博之 .

中国专利 :CN103966554B ,2014-08-06

[4]

真空蒸镀装置和真空蒸镀方法 [P].

黄荣龙 ;

彭家鹏 ;

赖建廷 ;

杨秋莲 .

中国专利 :CN1970826A ,2007-05-30

[5]

真空蒸镀装置和真空蒸镀方法 [P].

李文星 ;

李俊峰 ;

甘帅燕 ;

范波涛 ;

彭兆基 .

中国专利 :CN109609912A ,2019-04-12

[6]

真空蒸镀装置用蒸镀源及真空蒸镀方法 [P].

木本孝仁 ;

安田仁 ;

仓内利春 ;

佐藤昌敏 .

日本专利 :CN120898021A ,2025-11-04

[7]

真空蒸镀装置 [P].

金信真理子 ;

藤本英志 ;

大工博之 ;

松本祐司 ;

千住直辉 .

中国专利 :CN105316625B ,2016-02-10

[8]

真空蒸镀装置 [P].

金炫中 ;

金洪彻 ;

金正来 ;

金瞮训 .

中国专利 :CN304139407S ,2017-05-17

[9]

真空蒸镀装置 [P].

松本祐司 ;

藤本英志 ;

藤本惠美子 ;

大工博之 .

中国专利 :CN203768445U ,2014-08-13

[10]

真空蒸镀装置 [P].

斋藤修司 ;

横山礼宽 .

中国专利 :CN112368413B ,2021-02-12

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法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-10-14	专利权的保全及其解除	专利权的保全号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101721846778 IPC(主分类):C23C 14/24 专利号:ZL2010101319938 申请日:20100323 授权公告日:20120711 登记生效日:20150905 解除日:无
2012-07-11	授权	授权
2021-10-26	专利权的保全及其解除	专利权保全的解除 IPC(主分类):C23C 14/24 申请日:20100323 授权公告日:20120711 解除日:20210905
2015-10-14	专利权的保全及其解除	专利权保全的解除号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101721846777 IPC(主分类):C23C 14/24 专利号:ZL2010101319938 申请日:20100323 授权公告日:20120711 登记生效日:无解除日:20150905
2014-01-01	专利权的保全及其解除	专利权的保全号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101684499183 IPC(主分类):C23C 14/24 专利号:ZL2010101319938 申请日:20100323 授权公告日:20120711 登记生效日:20131205 解除日:无
2014-10-22	专利权的保全及其解除	专利权保全的解除号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101706357416 IPC(主分类):C23C 14/24 专利号:ZL2010101319938 申请日:20100323 授权公告日:20120711 登记生效日:无解除日:20140905
2022-02-22	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 14/24 申请日:20100323 授权公告日:20120711 终止日期:20140323
2014-10-22	专利权的保全及其解除	专利权的保全号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101706357438 IPC(主分类):C23C 14/24 专利号:ZL2010101319938 申请日:20100323 授权公告日:20120711 登记生效日:20140905 解除日:无
2010-12-15	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101024282539 IPC(主分类):C23C 14/24 专利申请号:2010101319938 申请日:20100323
2010-11-03	公开	公开