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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2013-08-14 | 授权 | 授权 |
| 2021-08-20 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利权的转移 IPC(主分类):G01R 31/26 登记生效日:20210810 变更事项:专利权人 变更前权利人:中国科学院微电子研究所 变更后权利人:昆山工研院第三代半导体研究院有限公司 变更事项:地址 变更前权利人:100029 北京市朝阳区北土城西路3号 变更后权利人:215300 江苏省苏州市昆山市玉山镇祖冲之南路1699号综合楼北楼8楼802室 |
| 2012-02-01 | 公开 | 公开 |
| 2012-03-28 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101211310712 IPC(主分类):G01R 31/26 专利申请号:2010102339996 申请日:20100722 |