从有机氨基硅烷前体制备氧化硅薄膜的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310137899.7

申请日：

2007-05-23

公开(公告)号：

CN103397306A

公开(公告)日：

2013-11-20

发明(设计)人：

H·思里丹达姆萧满超雷新建 T·R·加夫尼

申请人：

申请人地址：

美国宾夕法尼亚州

IPC主分类号：

C23C1640

IPC分类号：

C23C16448

代理机构：

北京市金杜律师事务所 11256

代理人：

吴亦华

法律状态：

专利申请权、专利权的转移

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-06-16	专利申请权、专利权的转移	专利申请权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101753758239 IPC(主分类):C23C 16/40 专利申请号:2013101378997 登记生效日:20170527 变更事项:申请人变更前权利人:气体产品与化学公司变更后权利人:弗萨姆材料美国有限责任公司变更事项:地址变更前权利人:美国宾夕法尼亚州变更后权利人:美国亚利桑那州
2013-12-18	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101551940386 IPC(主分类):C23C 16/40 专利申请号:2013101378997 申请日:20070523
2019-05-17	授权	授权
2013-11-20	公开	公开

共 50 条

[1]

从有机氨基硅烷前体制备氧化硅薄膜的方法 [P].

H·思里丹达姆 ;

萧满超 ;

雷新建 ;

T·R·加夫尼 .

中国专利 :CN101078109A ,2007-11-28

[2]

从有机氨基硅烷前体制备氧化硅薄膜的方法 [P].

H·思里丹达姆 ;

萧满超 ;

雷新建 ;

T·R·加夫尼 .

中国专利 :CN103225070A ,2013-07-31

[3]

有机氨基硅烷及其制备方法 [P].

萧满超 ;

M·R·麦克唐纳德 ;

R·霍 ;

雷新建 .

中国专利 :CN104876957B ,2015-09-02

[4]

氧化硅薄膜制备方法 [P].

雷通 ;

桑宁波 .

中国专利 :CN103943465B ,2014-07-23

[5]

制备有机氨基硅烷的方法；由有机氨基硅烷制备甲硅烷基胺的方法 [P].

B·M·凯托拉 ;

J·A·马多克 ;

B·D·雷肯 ;

M·D·泰尔根霍夫 ;

X·周 .

中国专利 :CN108602839A ,2018-09-28

[6]

有机氨基硅烷前体及沉积包含该前体的薄膜的方法 [P].

萧满超 ;

M·L·奥尼尔 ;

H·R·鲍恩 ;

程寒松 ;

雷新建 .

中国专利 :CN102295657B ,2011-12-28

[7]

制备有机氨基硅烷的方法 [P].

A·E·福斯 ;

J·A·马多克 ;

B·D·瑞肯 ;

M·D·特拉根豪福 .

中国专利 :CN112041323A ,2020-12-04

[8]

制备有机氨基硅烷的方法 [P].

A·E·福斯 ;

J·A·马多克 ;

B·D·瑞肯 ;

M·D·特拉根豪福 .

美国专利 :CN112041323B ,2024-01-05

[9]

卤代有机氨基硅烷前体及包含该前体的薄膜沉积方法 [P].

萧满超 ;

雷新建 ;

M·L·奥内尔 ;

韩冰 ;

R·M·皮尔斯泰恩 ;

H·钱德拉 ;

H·R·伯文 ;

A·德雷克斯凯-科瓦克斯 .

中国专利 :CN103012457B ,2013-04-03

[10]

卤代有机氨基硅烷前体及包含该前体的薄膜沉积方法 [P].

萧满超 ;

雷新建 ;

M·L·奥内尔 ;

韩冰 ;

R·M·皮尔斯泰恩 ;

H·钱德拉 ;

H·R·伯文 ;

A·德雷克斯凯-科瓦克斯 .

中国专利 :CN107312028A ,2017-11-03

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