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一种氮化硼气相沉积设备
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202023121948.2
申请日：
2020-12-22
公开(公告)号：
CN213925008U
公开(公告)日：
2021-08-10
发明(设计)人：
胡祥龙
周岳兵
戴煜
胡高健
王艳艳
申请人：
申请人地址：
410118 湖南省长沙市天心区暮云工业园顶立科技研发楼
IPC主分类号：
C23C16455
IPC分类号：
C23C1634
C23C16458
C23C1652
代理机构：
北京集佳知识产权代理有限公司 11227
代理人：
刘奕
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-08-10 | 授权 | 授权 |