一种氮化硼气相沉积设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202023121948.2

申请日：

2020-12-22

公开(公告)号：

CN213925008U

公开(公告)日：

2021-08-10

发明(设计)人：

胡祥龙周岳兵戴煜胡高健王艳艳

申请人：

申请人地址：

410118 湖南省长沙市天心区暮云工业园顶立科技研发楼

IPC主分类号：

C23C16455

IPC分类号：

C23C1634 C23C16458 C23C1652

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

刘奕

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-08-10	授权	授权

共 50 条

[1]

热解氮化硼气相沉积炉 [P].

赵风鸣 .

中国专利 :CN2136445Y ,1993-06-16

[2]

一种氮化硼坩埚的气相沉积炉 [P].

何军舫 ;

王军勇 .

中国专利 :CN214693922U ,2021-11-12

[3]

生产氮化硼制品的气相沉积炉 [P].

董家海 .

中国专利 :CN205398723U ,2016-07-27

[4]

一种氮化硼复合纤维的化学气相沉积设备 [P].

孔令杰 ;

白晓航 .

中国专利 :CN112553602A ,2021-03-26

[5]

一种用于氮化硼制品生产的气相沉积炉 [P].

董家海 .

中国专利 :CN208071807U ,2018-11-09

[6]

一种气相沉积设备 [P].

胡祥龙 ;

周岳兵 ;

胡高健 ;

戴煜 .

中国专利 :CN109234704A ,2019-01-18

[7]

一种内加热型氮化硼复合纤维化学气相沉积设备 [P].

孔令杰 ;

白晓航 .

中国专利 :CN112553603A ,2021-03-26

[8]

生产氮化硼制品的气相沉积炉的集成旋转模块 [P].

赵林 ;

赵凤鸣 .

中国专利 :CN204509458U ,2015-07-29

[9]

氮化硼和氮化硼导出材料的沉积方法 [P].

J-u·许 ;

M·巴尔塞努 ;

夏立群 ;

V·T·恩古耶 ;

D·R·威蒂 ;

H·M'塞德 .

中国专利 :CN101690420B ,2010-03-31

[10]

一种热解氮化硼沉积炉 [P].

张华芹 ;

程佳彪 ;

张冬翔 ;

李广敏 .

中国专利 :CN214218853U ,2021-09-17

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