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原子层沉积装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202110559693.8
申请日：
2021-05-21
公开(公告)号：
CN113373430A
公开(公告)日：
2021-09-10
发明(设计)人：
张海飞
张洪国
焦恒刚
申请人：
申请人地址：
226000 江苏省南通市开发区崇州大道60号紫琅科技城12B号楼二层
IPC主分类号：
C23C16455
IPC分类号：
代理机构：
南通鼎点知识产权代理事务所(普通合伙) 32442
代理人：
施荣华
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-09-28 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/455 申请日:20210521 |
| 2021-09-10 | 公开 | 公开 |