一种硅片承载装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201521134549.6

申请日：

2015-12-31

公开(公告)号：

CN205282495U

公开(公告)日：

2016-06-01

发明(设计)人：

张春华陈佳男衡阳郑旭然孟祥熙李栋

申请人：

申请人地址：

215129 江苏省苏州市高新区鹿山路199号

IPC主分类号：

H01L3118

IPC分类号：

H01L21673

代理机构：

苏州翔远专利代理事务所(普通合伙) 32251

代理人：

陆金星

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-12-21	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 31/18 申请日:20151231 授权公告日:20160601 终止日期:20171231
2016-06-01	授权	授权

共 50 条

[1]

一种硅片承载盘及硅片承载装置 [P].

唐青刚 ;

李文红 ;

杨宗明 ;

高晗 .

中国专利 :CN209963035U ,2020-01-17

[2]

一种硅片承载装置 [P].

高晗 ;

吴明贵 ;

刘小明 ;

张清清 ;

龚汉亮 .

中国专利 :CN216818295U ,2022-06-24

[3]

一种硅片承载装置 [P].

廖余华 ;

赵晔 ;

王诗合 .

中国专利 :CN202038590U ,2011-11-16

[4]

一种硅片承载装置 [P].

顾韻 ;

陆宇 .

中国专利 :CN222281949U ,2024-12-31

[5]

一种硅片承载装置和承载系统 [P].

孙少东 ;

周厉颖 .

中国专利 :CN203950792U ,2014-11-19

[6]

硅片承载装置 [P].

蔡媛媛 ;

徐永帅 .

中国专利 :CN223244520U ,2025-08-19

[7]

硅片承载装置 [P].

李海楠 ;

朱道峰 ;

马南 ;

要博卿 .

中国专利 :CN220382061U ,2024-01-23

[8]

硅片承载装置 [P].

李海楠 ;

王慧杰 ;

张宝庆 ;

刘哲伟 ;

朱道峰 ;

马南 ;

要博卿 ;

王晶晶 .

中国专利 :CN212342589U ,2021-01-12

[9]

硅片承载装置 [P].

刘裕通 .

中国专利 :CN211045391U ,2020-07-17

[10]

一种硅片清洗承载装置 [P].

古元甲 ;

史丹梅 ;

赵朋占 ;

辛超 ;

刘沛然 ;

王少刚 ;

田志民 ;

孙毅 ;

艾传令 ;

郝红月 ;

兰爽 .

中国专利 :CN212494238U ,2021-02-09

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