一种硅片承载装置和承载系统

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201420234706.X

申请日：

2014-05-08

公开(公告)号：

CN203950792U

公开(公告)日：

2014-11-19

发明(设计)人：

孙少东周厉颖

申请人：

申请人地址：

100015 北京市朝阳区酒仙桥东路1号M2楼2层

IPC主分类号：

H01L21673

IPC分类号：

代理机构：

北京路浩知识产权代理有限公司 11002

代理人：

郝瑞刚

法律状态：

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-04-10	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):H01L 21/673 变更事项:专利权人变更前:北京七星华创电子股份有限公司变更后:北方华创科技集团股份有限公司变更事项:地址变更前:100015 北京市朝阳区酒仙桥东路1号M2楼2层变更后:100015 北京市朝阳区酒仙桥东路1号
2014-11-19	授权	授权
2018-04-10	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):H01L 21/673 登记生效日:20180321 变更事项:专利权人变更前权利人:北方华创科技集团股份有限公司变更后权利人:北京北方华创微电子装备有限公司变更事项:地址变更前权利人:100015 北京市朝阳区酒仙桥东路1号变更后权利人:100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号

共 50 条

[1]

一种晶圆承载装置和晶圆承载系统 [P].

孙少东 ;

周厉颖 ;

王丽荣 .

中国专利 :CN203950791U ,2014-11-19

[2]

硅片承载装置 [P].

李海楠 ;

朱道峰 ;

马南 ;

要博卿 .

中国专利 :CN220382061U ,2024-01-23

[3]

一种硅片承载盘及硅片承载装置 [P].

唐青刚 ;

李文红 ;

杨宗明 ;

高晗 .

中国专利 :CN209963035U ,2020-01-17

[4]

硅片承载装置 [P].

曹智 ;

赵乾 .

中国专利 :CN117672952A ,2024-03-08

[5]

硅片承载装置 [P].

蔡媛媛 ;

徐永帅 .

中国专利 :CN223244520U ,2025-08-19

[6]

硅片承载装置 [P].

刘裕通 .

中国专利 :CN211045391U ,2020-07-17

[7]

硅片承载装置 [P].

李海楠 ;

王慧杰 ;

张宝庆 ;

刘哲伟 ;

朱道峰 ;

马南 ;

要博卿 ;

王晶晶 .

中国专利 :CN212342589U ,2021-01-12

[8]

硅片承载装置和硅片检测方法 [P].

李杰 .

中国专利 :CN117637555A ,2024-03-01

[9]

一种硅片承载装置 [P].

高晗 ;

吴明贵 ;

刘小明 ;

张清清 ;

龚汉亮 .

中国专利 :CN216818295U ,2022-06-24

[10]

一种硅片承载装置 [P].

廖余华 ;

赵晔 ;

王诗合 .

中国专利 :CN202038590U ,2011-11-16

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