半导体硅片清洗装置及其清洗方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200810207430.5

申请日：

2008-12-19

公开(公告)号：

CN101447415A

公开(公告)日：

2009-06-03

发明(设计)人：

张晨骋

申请人：

申请人地址：

201203上海市张江高科技园区碧波路177号华虹科技园4楼B区

IPC主分类号：

H01L2100

IPC分类号：

H01L2102 B08B312

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所

代理人：

郑玮

法律状态：

发明专利申请公布后的视为撤回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-11-20	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101673862775 IPC(主分类):H01L 21/00 专利申请号:2008102074305 申请公布日:20090603
2011-11-23	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101139127243 IPC(主分类):H01L 21/00 专利申请号:2008102074305 申请日:20081219
2009-06-03	公开	公开

共 50 条

[1]

半导体硅片清洗装置 [P].

张晨骋 .

中国专利 :CN201348988Y ,2009-11-18

[2]

半导体硅片的清洗装置及其清洗方法 [P].

张晨骋 .

中国专利 :CN102513305B ,2012-06-27

[3]

半导体硅片的清洗装置及清洗方法 [P].

张晨骋 .

中国专利 :CN1986086A ,2007-06-27

[4]

半导体硅片的清洗装置 [P].

张晨骋 .

中国专利 :CN200997395Y ,2007-12-26

[5]

半导体硅片的清洗方法 [P].

张晨骋 .

中国专利 :CN101447416A ,2009-06-03

[6]

半导体硅片的清洗方法和装置 [P].

王坚 ;

S·V·纳其 ;

谢良智 ;

武俊萍 ;

贾照伟 ;

黄允文 ;

高志峰 ;

王晖 .

中国专利 :CN101879511A ,2010-11-10

[7]

半导体硅片的清洗方法和装置 [P].

王坚 ;

S·V·纳其 ;

谢良智 ;

武俊萍 ;

贾照伟 ;

黄允文 ;

高志峰 ;

马悦 ;

王晖 .

中国专利 :CN101927242B ,2010-12-29

[8]

清洗半导体硅片的装置和方法 [P].

王晖 ;

王希 ;

初振明 ;

陈福平 .

中国专利 :CN109890520A ,2019-06-14

[9]

半导体硅片的清洗方法 [P].

李容军 .

中国专利 :CN109841496A ,2019-06-04

[10]

半导体硅片的清洗方法 [P].

张晨骋 .

中国专利 :CN102157357A ,2011-08-17

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