半导体硅片的清洗装置及其清洗方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110458408.X

申请日：

2011-12-30

公开(公告)号：

CN102513305B

公开(公告)日：

2012-06-27

发明(设计)人：

张晨骋

申请人：

申请人地址：

201210 上海市浦东新区上海张江高科技园区高斯路497号

IPC主分类号：

B08B312

IPC分类号：

H01L2102

代理机构：

上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275

代理人：

吴世华;林彦之

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-03-02	授权	授权
2012-06-27	公开	公开
2014-01-15	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101562723573 IPC(主分类):B08B 3/12 专利申请号:201110458408X 申请日:20111230

共 50 条

[1]

半导体硅片的清洗装置及清洗方法 [P].

张晨骋 .

中国专利 :CN1986086A ,2007-06-27

[2]

半导体硅片的清洗装置 [P].

张晨骋 .

中国专利 :CN200997395Y ,2007-12-26

[3]

半导体硅片的清洗方法 [P].

张晨骋 .

中国专利 :CN102513304A ,2012-06-27

[4]

半导体硅片清洗装置及其清洗方法 [P].

张晨骋 .

中国专利 :CN101447415A ,2009-06-03

[5]

半导体硅片的清洗方法 [P].

张晨骋 .

中国专利 :CN101447416A ,2009-06-03

[6]

清洗半导体硅片的装置和方法 [P].

王晖 ;

王希 ;

初振明 ;

陈福平 .

中国专利 :CN109890520A ,2019-06-14

[7]

半导体硅片清洗装置 [P].

张晨骋 .

中国专利 :CN201348988Y ,2009-11-18

[8]

半导体硅片的清洗方法和装置 [P].

王坚 ;

S·V·纳其 ;

谢良智 ;

武俊萍 ;

贾照伟 ;

黄允文 ;

高志峰 ;

王晖 .

中国专利 :CN101879511A ,2010-11-10

[9]

清洗半导体硅片的装置及方法 [P].

王晖 ;

方志友 ;

吴均 ;

卢冠中 ;

陈福平 ;

王坚 ;

王俊 ;

王德云 .

中国专利 :CN112470252B ,2024-06-07

[10]

半导体硅片的清洗方法和装置 [P].

王坚 ;

S·V·纳其 ;

谢良智 ;

武俊萍 ;

贾照伟 ;

黄允文 ;

高志峰 ;

马悦 ;

王晖 .

中国专利 :CN101927242B ,2010-12-29

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