一种超纳米金刚石薄膜的制备方法及装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910968440.9

申请日：

2019-10-12

公开(公告)号：

CN110592534A

公开(公告)日：

2019-12-20

发明(设计)人：

吕家将罗涛吴炳理彭凡林吴毅

申请人：

申请人地址：

332005 江西省九江市濂溪区十里大道1188号

IPC主分类号：

C23C1406

IPC分类号：

C23C1432

代理机构：

郑州科硕专利代理事务所(普通合伙) 41157

代理人：

范增哲

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-12-20	公开	公开
2020-01-14	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/06 申请日:20191012
2022-09-23	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C23C 14/06 申请公布日:20191220

共 50 条

[1]

一种超纳米金刚石薄膜的制备装置 [P].

吕家将 ;

吴炳理 ;

彭凡林 ;

蒋晓刚 ;

王文超 .

中国专利 :CN210736872U ,2020-06-12

[2]

一种制备超纳米金刚石薄膜的方法 [P].

曾一 .

中国专利 :CN112281136A ,2021-01-29

[3]

纳米金刚石薄膜的制备装置 [P].

龚辉 ;

范正修 .

中国专利 :CN1332268A ,2002-01-23

[4]

制备金刚石和类金刚石薄膜的方法 [P].

马志斌 ;

汪建华 .

中国专利 :CN1410590A ,2003-04-16

[5]

一种低温纳米/超纳米金刚石薄膜的制造设备和方法 [P].

丁明清 ;

李莉莉 ;

胡健楠 ;

冯进军 .

中国专利 :CN105506575A ,2016-04-20

[6]

基于类金刚石薄膜中间层的纳米金刚石薄膜制备方法 [P].

汪琳 ;

李泰然 ;

姜亦杨 ;

黄健 ;

王林军 .

中国专利 :CN109811303A ,2019-05-28

[7]

一种纳米金刚石薄膜及其制备方法 [P].

杨彬 ;

雷乐成 ;

李浩 .

中国专利 :CN105755448A ,2016-07-13

[8]

掺氮纳米金刚石薄膜的制备方法 [P].

王兵 .

中国专利 :CN102399092B ,2012-04-04

[9]

一种纳米金刚石薄膜的制备方法 [P].

钟建华 ;

张文英 .

中国专利 :CN102251231A ,2011-11-23

[10]

纳米金刚石薄膜窗口的制备方法 [P].

胡广 ;

祝雪丰 ;

王林军 ;

黄健 ;

徐金勇 ;

夏义本 .

中国专利 :CN101235485A ,2008-08-06

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