一种低温纳米/超纳米金刚石薄膜的制造设备和方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510895596.0

申请日：

2015-12-08

公开(公告)号：

CN105506575A

公开(公告)日：

2016-04-20

发明(设计)人：

丁明清李莉莉胡健楠冯进军

申请人：

申请人地址：

100015 北京市朝阳区酒仙桥路13号

IPC主分类号：

C23C1627

IPC分类号：

C23C16511 C23C16513

代理机构：

工业和信息化部电子专利中心 11010

代理人：

田卫平

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-07-27	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101671884203 IPC(主分类):C23C 16/27 专利申请号:2015108955960 申请日:20151208
2016-04-20	公开	公开
2019-04-02	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):C23C 16/27 申请公布日:20160420

共 50 条

[1]

一种制备超纳米金刚石薄膜的方法 [P].

曾一 .

中国专利 :CN112281136A ,2021-01-29

[2]

一种超纳米金刚石薄膜的制备装置 [P].

吕家将 ;

吴炳理 ;

彭凡林 ;

蒋晓刚 ;

王文超 .

中国专利 :CN210736872U ,2020-06-12

[3]

一种超纳米金刚石薄膜的制备方法及装置 [P].

吕家将 ;

罗涛 ;

吴炳理 ;

彭凡林 ;

吴毅 .

中国专利 :CN110592534A ,2019-12-20

[4]

纳米金刚石的制造方法及纳米金刚石 [P].

间彦智明 ;

伊奈智秀 .

中国专利 :CN111282514A ,2020-06-16

[5]

纳米晶体金刚石薄膜、其制造方法及使用纳米晶体金刚石薄膜的装置 [P].

蒲生秀典 ;

安藤寿浩 .

中国专利 :CN1957116A ,2007-05-02

[6]

一种纳米金刚石薄膜的制备方法 [P].

钟建华 ;

张文英 .

中国专利 :CN102251231A ,2011-11-23

[7]

纳米金刚石薄膜窗口的制备方法 [P].

胡广 ;

祝雪丰 ;

王林军 ;

黄健 ;

徐金勇 ;

夏义本 .

中国专利 :CN101235485A ,2008-08-06

[8]

纳米金刚石薄膜的制备装置 [P].

龚辉 ;

范正修 .

中国专利 :CN1332268A ,2002-01-23

[9]

一种微波镀纳米金刚石薄膜的设备 [P].

蔡茜 ;

付斗才 .

中国专利 :CN110373651A ,2019-10-25

[10]

一种微波镀纳米金刚石薄膜的设备 [P].

蔡茜 ;

付斗才 .

中国专利 :CN210826345U ,2020-06-23

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