用于大面积基板的聚焦离子束系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201980069961.9

申请日：

2019-10-07

公开(公告)号：

CN112912988A

公开(公告)日：

2021-06-04

发明(设计)人：

伯纳德·G·穆勒

申请人：

申请人地址：

美国加利福尼亚州

IPC主分类号：

H01J37305

IPC分类号：

H01J3731 H01J37302 H01J37304

代理机构：

北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006

代理人：

徐金国;赵静

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-06-22	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 37/305 申请日:20191007
2021-06-04	公开	公开

共 50 条

[1]

用于大面积基板的聚焦离子束系统 [P].

伯纳德·G·穆勒 .

美国专利 :CN112912988B ,2024-12-17

[2]

聚焦离子束系统 [P].

高峰 ;

高强 .

中国专利 :CN119549924A ,2025-03-04

[3]

用于聚焦离子束系统的光阑结构 [P].

曾卓 ;

郭伟 .

中国专利 :CN223513904U ,2025-11-04

[4]

用于聚焦离子束设备的散热装置及其聚焦离子束设备 [P].

刘宝露 .

中国专利 :CN223206221U ,2025-08-08

[5]

聚焦离子束系统及改进聚焦粒子束加工的方法 [P].

T.米勒 ;

S.克罗格 ;

S.张 ;

M.马佐斯 ;

A.格劳佩拉 .

中国专利 :CN103456588B ,2013-12-18

[6]

用于捕获离子束粒子和聚焦离子束的方法和系统 [P].

彼得·克雷曼 ;

维特·班威尼斯特 ;

亚历山大·普瑞尔 ;

布莱恩·弗瑞尔 ;

麦可·葛瑞夫 .

中国专利 :CN101432841B ,2009-05-13

[7]

聚焦离子束设备及聚焦离子束检测方法 [P].

赖李龙 .

中国专利 :CN101246132B ,2008-08-20

[8]

基于聚焦离子束刻蚀光波导的方法 [P].

杨琳娟 ;

姜潇潇 ;

谷琼婵 ;

宋爱娟 ;

梁丽勤 ;

吕江涛 ;

王凤文 ;

司光远 .

中国专利 :CN103064147B ,2013-04-24

[9]

用于聚焦离子束处理的终点确定 [P].

S.E.富勒 ;

J.唐纳德 ;

T.西蒙特柴鲍沃尔恩 .

中国专利 :CN104428867B ,2015-03-18

[10]

聚焦离子束杂质鉴定 [P].

J.格雷厄姆 ;

L.克拉尔 .

中国专利 :CN111579890B ,2020-08-25

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