用于聚焦离子束处理的终点确定

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201280074759.3

申请日：

2012-07-16

公开(公告)号：

CN104428867B

公开(公告)日：

2015-03-18

发明(设计)人：

S.E.富勒 J.唐纳德 T.西蒙特柴鲍沃尔恩

申请人：

申请人地址：

美国俄勒冈州

IPC主分类号：

H01J37317

IPC分类号：

H01L21265

代理机构：

中国专利代理(香港)有限公司 72001

代理人：

申屠伟进;陈岚

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-03-18	公开	公开
2015-08-12	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101620399207 IPC(主分类):H01J 37/317 专利申请号:2012800747593 申请日:20120716
2018-10-16	授权	授权

共 50 条

[1]

聚焦离子束设备及聚焦离子束检测方法 [P].

赖李龙 .

中国专利 :CN101246132B ,2008-08-20

[2]

聚焦离子束分析方法 [P].

段淑卿 ;

曹蓉 ;

齐瑞娟 ;

于会生 .

中国专利 :CN105097580A ,2015-11-25

[3]

用于聚焦离子束设备的散热装置及其聚焦离子束设备 [P].

刘宝露 .

中国专利 :CN223206221U ,2025-08-08

[4]

聚焦离子束系统 [P].

高峰 ;

高强 .

中国专利 :CN119549924A ,2025-03-04

[5]

用于捕获离子束粒子和聚焦离子束的方法和系统 [P].

彼得·克雷曼 ;

维特·班威尼斯特 ;

亚历山大·普瑞尔 ;

布莱恩·弗瑞尔 ;

麦可·葛瑞夫 .

中国专利 :CN101432841B ,2009-05-13

[6]

用于聚焦离子束系统的光阑结构 [P].

曾卓 ;

郭伟 .

中国专利 :CN223513904U ,2025-11-04

[7]

聚焦离子束杂质鉴定 [P].

J.格雷厄姆 ;

L.克拉尔 .

中国专利 :CN111579890B ,2020-08-25

[8]

精确定位聚焦离子束修补位置的方法 [P].

张启华 ;

江秀霞 ;

季春葵 ;

李冠华 .

中国专利 :CN1941276A ,2007-04-04

[9]

借助聚焦离子束的突出标记 [P].

许冠中 ;

程浩 ;

江争 .

中国专利 :CN104210304B ,2014-12-17

[10]

采用聚焦离子束的电路跟踪 [P].

克里斯·帕夫洛维奇 ;

亚历山大·索金 ;

迈克尔·W·法纳夫 ;

亚历山大·克里茨米尔 ;

肯·G·拉加里克 .

中国专利 :CN106842001A ,2017-06-13

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