采用聚焦离子束的电路跟踪

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201611060195.4

申请日：

2014-04-23

公开(公告)号：

CN106842001A

公开(公告)日：

2017-06-13

发明(设计)人：

克里斯·帕夫洛维奇亚历山大·索金迈克尔·W·法纳夫亚历山大·克里茨米尔肯·G·拉加里克

申请人：

申请人地址：

加拿大安大略省

IPC主分类号：

G01R31303

IPC分类号：

H01L2166

代理机构：

上海申新律师事务所 31272

代理人：

董科

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-09-24	授权	授权
2017-06-13	公开	公开
2017-07-07	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101731983675 IPC(主分类):G01R 31/303 专利申请号:2016110601954 申请日:20140423

共 50 条

[1]

采用聚焦离子束的电路跟踪 [P].

克里斯·帕夫洛维奇 ;

亚历山大·索金 ;

迈克尔·W·法纳夫 ;

亚历山大·克里茨米尔 ;

肯·G·拉加里克 .

中国专利 :CN104122282B ,2014-10-29

[2]

采用聚焦离子束的电路跟踪 [P].

克里斯多夫·帕夫洛维奇 ;

亚历山大·索金 ;

亚历山大·克里茨米尔 .

中国专利 :CN106409708A ,2017-02-15

[3]

聚焦离子束设备及聚焦离子束检测方法 [P].

赖李龙 .

中国专利 :CN101246132B ,2008-08-20

[4]

聚焦离子束系统 [P].

高峰 ;

高强 .

中国专利 :CN119549924A ,2025-03-04

[5]

用于聚焦离子束设备的散热装置及其聚焦离子束设备 [P].

刘宝露 .

中国专利 :CN223206221U ,2025-08-08

[6]

聚焦离子束杂质鉴定 [P].

J.格雷厄姆 ;

L.克拉尔 .

中国专利 :CN111579890B ,2020-08-25

[7]

聚焦离子束分析方法 [P].

段淑卿 ;

曹蓉 ;

齐瑞娟 ;

于会生 .

中国专利 :CN105097580A ,2015-11-25

[8]

聚焦离子束(FIB)传感器电路 [P].

H·塔德迪肯 .

中国专利 :CN1528019A ,2004-09-08

[9]

基于聚焦离子束技术的微刀具制备方法 [P].

房丰洲 ;

张少婧 ;

徐宗伟 ;

胡小唐 .

中国专利 :CN101543901A ,2009-09-30

[10]

借助聚焦离子束的突出标记 [P].

许冠中 ;

程浩 ;

江争 .

中国专利 :CN104210304B ,2014-12-17

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