基于聚焦离子束技术的微刀具制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200910067983.X

申请日：

2009-02-27

公开(公告)号：

CN101543901A

公开(公告)日：

2009-09-30

发明(设计)人：

房丰洲张少婧徐宗伟胡小唐

申请人：

申请人地址：

300072天津市南开区卫津路92号天津大学

IPC主分类号：

B23C300

IPC分类号：

B81C500 B82B300

代理机构：

天津市北洋有限责任专利代理事务所

代理人：

江镇华

法律状态：

发明专利申请公布后的视为撤回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-03-23	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101077489623 IPC(主分类):B23C 3/00 专利申请号:200910067983X 公开日:20090930
2009-11-25	实质审查的生效	实质审查的生效
2009-09-30	公开	公开

共 50 条

[1]

一种利用聚焦离子束技术制备光纤探针的方法 [P].

邵天敏 ;

张少婧 ;

刘佳琛 ;

王惠 ;

刘大猛 .

中国专利 :CN102590560A ,2012-07-18

[2]

基于聚焦离子束技术的微透镜与光纤集成方法 [P].

付永启 ;

杜春雷 .

中国专利 :CN100417961C ,2006-05-10

[3]

聚焦离子束系统 [P].

高峰 ;

高强 .

中国专利 :CN119549924A ,2025-03-04

[4]

基于聚焦离子束刻蚀光波导的方法 [P].

杨琳娟 ;

姜潇潇 ;

谷琼婵 ;

宋爱娟 ;

梁丽勤 ;

吕江涛 ;

王凤文 ;

司光远 .

中国专利 :CN103064147B ,2013-04-24

[5]

基于聚焦离子束技术深刻蚀一维光子晶体的方法 [P].

徐军 ;

章蓓 ;

张振生 ;

代涛 .

中国专利 :CN1983509A ,2007-06-20

[6]

聚焦离子束设备及聚焦离子束检测方法 [P].

赖李龙 .

中国专利 :CN101246132B ,2008-08-20

[7]

采用聚焦离子束的电路跟踪 [P].

克里斯·帕夫洛维奇 ;

亚历山大·索金 ;

迈克尔·W·法纳夫 ;

亚历山大·克里茨米尔 ;

肯·G·拉加里克 .

中国专利 :CN106842001A ,2017-06-13

[8]

采用聚焦离子束的电路跟踪 [P].

克里斯·帕夫洛维奇 ;

亚历山大·索金 ;

迈克尔·W·法纳夫 ;

亚历山大·克里茨米尔 ;

肯·G·拉加里克 .

中国专利 :CN104122282B ,2014-10-29

[9]

聚焦离子束系统及改进聚焦粒子束加工的方法 [P].

T.米勒 ;

S.克罗格 ;

S.张 ;

M.马佐斯 ;

A.格劳佩拉 .

中国专利 :CN103456588B ,2013-12-18

[10]

一种利用聚焦离子束技术制备光纤探针装置 [P].

高寒松 ;

高小寒 ;

王硕 .

中国专利 :CN217787135U ,2022-11-11

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