分段沟道晶体管及其形成方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310093703.9

申请日：

2013-03-21

公开(公告)号：

CN104064466B

公开(公告)日：

2014-09-24

发明(设计)人：

三重野文健

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江路18号

IPC主分类号：

H01L21336

IPC分类号：

H01L2978 H01L2910

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

骆苏华

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-10-22	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101587745256 IPC(主分类):H01L 21/336 专利申请号:2013100937039 申请日:20130321
2014-09-24	公开	公开
2017-03-22	授权	授权

共 50 条

[1]

分段沟道晶体管及其形成方法 [P].

三重野文健 .

中国专利 :CN104078356A ,2014-10-01

[2]

埋藏沟道晶体管及其形成方法 [P].

邱慈云 ;

克里夫·德劳利 ;

辜良智 ;

江宇雷 ;

余达强 .

中国专利 :CN106935646A ,2017-07-07

[3]

晶体管及其形成方法 [P].

邓浩 .

中国专利 :CN104022035B ,2014-09-03

[4]

晶体管及其形成方法 [P].

刘焕新 .

中国专利 :CN105702723B ,2016-06-22

[5]

晶体管及其形成方法 [P].

蒋莉 ;

黎铭琦 .

中国专利 :CN102800592B ,2012-11-28

[6]

晶体管及其形成方法 [P].

徐建华 .

中国专利 :CN107039271A ,2017-08-11

[7]

晶体管及其形成方法 [P].

楼颖颖 .

中国专利 :CN102779843A ,2012-11-14

[8]

晶体管及其形成方法 [P].

三重野文健 .

中国专利 :CN102856204A ,2013-01-02

[9]

晶体管及其形成方法 [P].

赵猛 .

中国专利 :CN104064463B ,2014-09-24

[10]

晶体管及其形成方法 [P].

赵猛 .

中国专利 :CN104064464A ,2014-09-24

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