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一种半导体清洗设备
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202011425002.7
申请日：
2020-12-09
公开(公告)号：
CN112435943A
公开(公告)日：
2021-03-02
发明(设计)人：
曹军
申请人：
申请人地址：
210000 江苏省南京市江北新区星火路19号星智汇商务花园9栋4楼445号
IPC主分类号：
H01L2167
IPC分类号：
H01L21677
代理机构：
代理人：
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-03-19 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20201209 |
| 2021-03-02 | 公开 | 公开 |