柱形靶电弧汽相淀积装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN95212359.2

申请日：

1995-06-06

公开(公告)号：

CN2221598Y

公开(公告)日：

1996-03-06

发明(设计)人：

王殿儒刘维一遇衍澄魏耀存王琰李燕冯宇奇

申请人：

申请人地址：

100080北京市海淀区海淀路74号乙钛金楼

IPC主分类号：

C23C1424

IPC分类号：

代理机构：

北京理工大学专利事务所

代理人：

付雷杰

法律状态：

专利权的终止未缴年费专利权终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
1998-08-05	专利权的终止未缴年费专利权终止	专利权的终止未缴年费专利权终止
1996-03-06	授权	授权

共 50 条

[1]

柱形靶电弧汽相淀积装置及方法 [P].

王殿儒 ;

刘维一 ;

遇衍澄 ;

魏耀存 ;

王琰 ;

李燕 ;

冯宇奇 .

中国专利 :CN1137572A ,1996-12-11

[2]

汽相淀积源和汽相淀积装置 [P].

吉川俊明 ;

真下精二 ;

福田直人 .

中国专利 :CN101041891B ,2007-09-26

[3]

物理汽相淀积靶结构以及处理物理汽相淀积靶的方法 [P].

J·比勒 .

中国专利 :CN1582343A ,2005-02-16

[4]

垂直化学汽相淀积装置 [P].

陈聪茂 .

中国专利 :CN201501927U ,2010-06-09

[5]

化学汽相淀积装置 [P].

高山徹 ;

犬岛 ;

尾高政一 ;

林茂则 ;

広濑直樹 .

中国专利 :CN87106283A ,1988-03-23

[6]

一种电弧汽相淀积的装置 [P].

刘维一 .

中国专利 :CN1069777A ,1993-03-10

[7]

化学汽相淀积设备和化学汽相淀积方法 [P].

酒井士郎 ;

北原宏一 ;

高松勇吉 ;

森勇次 .

中国专利 :CN1316546A ,2001-10-10

[8]

化学汽相淀积设备和化学汽相淀积方法 [P].

酒井士郎 ;

高松勇吉 ;

森勇次 ;

王宏兴 ;

小宫由直 ;

吴羽羚儿 ;

石滨义康 ;

纲岛丰 .

中国专利 :CN1392595A ,2003-01-22

[9]

改进的电弧汽相淀积方法及设备 [P].

克拉克·伯格曼 .

中国专利 :CN86104365A ,1987-05-20

[10]

物理汽相淀积靶及形成方法 [P].

V·莫汉 ;

J·李 ;

T·A·斯科特 .

中国专利 :CN1547623A ,2004-11-17

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