一种电弧汽相淀积的装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN91105730.7

申请日：

1991-08-21

公开(公告)号：

CN1069777A

公开(公告)日：

1993-03-10

发明(设计)人：

刘维一

申请人：

申请人地址：

300071天津市卫津路94号

IPC主分类号：

C23C1432

IPC分类号：

C23C1435

代理机构：

南开大学专利事务所

代理人：

孙克忱

法律状态：

公开

国省代码：

引用

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
1993-03-10	公开	公开
1994-10-26	专利申请的视为撤回	专利申请的视为撤回

共 50 条

[1]

柱形靶电弧汽相淀积装置 [P].

王殿儒 ;

刘维一 ;

遇衍澄 ;

魏耀存 ;

王琰 ;

李燕 ;

冯宇奇 .

中国专利 :CN2221598Y ,1996-03-06

[2]

汽相淀积源和汽相淀积装置 [P].

吉川俊明 ;

真下精二 ;

福田直人 .

中国专利 :CN101041891B ,2007-09-26

[3]

磁约束电弧汽相淀积的方法和设备 [P].

刘维一 .

中国专利 :CN1069776A ,1993-03-10

[4]

柱形靶电弧汽相淀积装置及方法 [P].

王殿儒 ;

刘维一 ;

遇衍澄 ;

魏耀存 ;

王琰 ;

李燕 ;

冯宇奇 .

中国专利 :CN1137572A ,1996-12-11

[5]

化学汽相淀积装置 [P].

高山徹 ;

犬岛 ;

尾高政一 ;

林茂则 ;

広濑直樹 .

中国专利 :CN87106283A ,1988-03-23

[6]

改进的电弧汽相淀积方法及设备 [P].

克拉克·伯格曼 .

中国专利 :CN86104365A ,1987-05-20

[7]

化学汽相淀积设备和化学汽相淀积方法 [P].

酒井士郎 ;

北原宏一 ;

高松勇吉 ;

森勇次 .

中国专利 :CN1316546A ,2001-10-10

[8]

化学汽相淀积设备和化学汽相淀积方法 [P].

酒井士郎 ;

高松勇吉 ;

森勇次 ;

王宏兴 ;

小宫由直 ;

吴羽羚儿 ;

石滨义康 ;

纲岛丰 .

中国专利 :CN1392595A ,2003-01-22

[9]

垂直化学汽相淀积装置 [P].

陈聪茂 .

中国专利 :CN201501927U ,2010-06-09

[10]

物理汽相淀积靶结构以及处理物理汽相淀积靶的方法 [P].

J·比勒 .

中国专利 :CN1582343A ,2005-02-16

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