一种等离子体室和等离子体系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201811196038.5

申请日：

2016-04-15

公开(公告)号：

CN109411323A

公开(公告)日：

2019-03-01

发明(设计)人：

丹尼尔·阿瑟·布朗约翰·帕特里克·霍兰德迈克尔·C·凯洛格詹姆斯·E·塔潘杰雷尔·K·安托利克伊恩·肯沃西特奥·帕纳戈波罗斯陈志刚

申请人：

申请人地址：

美国加利福尼亚州

IPC主分类号：

H01J3732

IPC分类号：

H01L2167

代理机构：

上海胜康律师事务所 31263

代理人：

樊英如;张静

法律状态：

发明专利申请公布后的驳回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-12-23	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01J 37/32 申请公布日:20190301
2019-03-26	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 37/32 申请日:20160415
2019-03-01	公开	公开

共 50 条

[1]

等离子体系统和等离子体装置 [P].

具一教 ;

赵真薰 ;

崔明烈 ;

C·A·穆尔 ;

G·J·柯林斯 .

中国专利 :CN203850245U ,2014-09-24

[2]

等离子体系统和等离子体装置 [P].

具一教 ;

崔明烈 ;

D·海厄特 ;

A·扎格罗兹基 ;

D·A·亨德里克森 ;

G·J·柯林斯 .

中国专利 :CN203734909U ,2014-07-23

[3]

等离子体设备和等离子体系统 [P].

成晓阳 ;

韦刚 .

中国专利 :CN110828273B ,2020-02-21

[4]

等离子体系统及等离子体系统电路 [P].

W·加耶夫斯基 .

:CN222869106U ,2025-05-13

[5]

用于调制等离子体系统的等离子体传递系统 [P].

G·范齐尔 .

:CN113243144B ,2024-12-27

[6]

用于调制等离子体系统的等离子体传递系统 [P].

G·范齐尔 .

中国专利 :CN113243144A ,2021-08-10

[7]

等离子体源线圈和使用该等离子体源线圈的等离子体室 [P].

金南宪 ;

李堵汉 ;

吴荣根 .

中国专利 :CN1938824A ,2007-03-28

[8]

一种等离子体的电源电路、等离子体设备及等离子体系统 [P].

肖经 ;

蔡凯达 ;

贾岩岩 ;

唐秋辉 ;

苏幸伟 .

中国专利 :CN120222839A ,2025-06-27

[9]

等离子体系统、等离子体处理方法以及等离子体刻蚀方法 [P].

吴世真 ;

禹济宪 ;

赵忠镐 ;

成德镛 ;

梁章奎 ;

郑在哲 .

中国专利 :CN106920734A ,2017-07-04

[10]

用于等离子体室中的均匀等离子体分布的等离子体源 [P].

金南宪 .

中国专利 :CN101040366A ,2007-09-19

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