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晶圆双面清洗设备

被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202023058925.1
申请日：
2020-12-18
公开(公告)号：
CN213988837U
公开(公告)日：
2021-08-17
发明(设计)人：
吴镐硕 朴灵绪
申请人：
申请人地址：
215024 江苏省苏州市苏州工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城西北区02栋703室
IPC主分类号：
H01L2167
IPC分类号：
H01L2102
代理机构：
上海光华专利事务所(普通合伙) 31219
代理人：
余明伟
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2021-08-17 授权 授权
共 50 条
[1]
晶圆清洗设备 [P]. 
卢夕生 ;
杜亮 .
中国专利 :CN201454923U ,2010-05-12
[2]
晶圆清洗设备和晶圆清洗方法 [P]. 
吴俊桃 ;
章志兴 ;
刘本锋 ;
谢志勇 .
中国专利 :CN114188245B ,2025-04-08
[3]
晶圆清洗设备和晶圆清洗方法 [P]. 
吴俊桃 ;
章志兴 ;
刘本锋 ;
谢志勇 .
中国专利 :CN114188245A ,2022-03-15
[4]
晶圆清洗设备 [P]. 
林欣家 ;
张虎 ;
胡睿凡 ;
王笑非 ;
廖伟 .
中国专利 :CN211907403U ,2020-11-10
[5]
晶圆清洗结构、晶圆清洗设备 [P]. 
周尤 ;
姚华东 ;
班恒生 ;
刘柏宏 .
中国专利 :CN223401573U ,2025-09-30
[6]
晶圆清洗设备 [P]. 
邓武锋 ;
陈枫 .
中国专利 :CN201868386U ,2011-06-15
[7]
晶圆清洗设备 [P]. 
时岱 ;
吴楠 ;
杨军 ;
包斌 .
中国专利 :CN215543149U ,2022-01-18
[8]
晶圆清洗设备 [P]. 
姚一现 .
中国专利 :CN221304588U ,2024-07-09
[9]
晶圆清洗设备 [P]. 
崔亚东 ;
张文福 ;
刘家桦 ;
叶日铨 .
中国专利 :CN208954954U ,2019-06-07
[10]
晶圆清洗设备 [P]. 
夏威 ;
辛君 ;
林宗贤 ;
吴龙江 .
中国专利 :CN208954945U ,2019-06-07
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