晶圆清洗设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202020660237.3

申请日：

2020-04-26

公开(公告)号：

CN211907403U

公开(公告)日：

2020-11-10

发明(设计)人：

林欣家张虎胡睿凡王笑非廖伟

申请人：

申请人地址：

100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号

IPC主分类号：

H01L21677

IPC分类号：

H01L2167 B08B304

代理机构：

北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112

代理人：

彭瑞欣;姜春咸

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-11-10	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆清洗结构、晶圆清洗设备 [P].

周尤 ;

姚华东 ;

班恒生 ;

刘柏宏 .

中国专利 :CN223401573U ,2025-09-30

[2]

晶圆清洗设备 [P].

邓武锋 ;

陈枫 .

中国专利 :CN201868386U ,2011-06-15

[3]

晶圆清洗设备 [P].

时岱 ;

吴楠 ;

杨军 ;

包斌 .

中国专利 :CN215543149U ,2022-01-18

[4]

晶圆清洗设备 [P].

姚一现 .

中国专利 :CN221304588U ,2024-07-09

[5]

晶圆清洗设备 [P].

崔亚东 ;

张文福 ;

刘家桦 ;

叶日铨 .

中国专利 :CN208954954U ,2019-06-07

[6]

晶圆清洗设备 [P].

卢夕生 ;

杜亮 .

中国专利 :CN201454923U ,2010-05-12

[7]

晶圆清洗设备 [P].

夏威 ;

辛君 ;

林宗贤 ;

吴龙江 .

中国专利 :CN208954945U ,2019-06-07

[8]

晶圆双面清洗设备 [P].

吴镐硕 ;

朴灵绪 .

中国专利 :CN213988837U ,2021-08-17

[9]

晶圆承载装置及晶圆清洗设备 [P].

程龙跃 ;

张晓燕 ;

徐融 .

中国专利 :CN118486636A ,2024-08-13

[10]

晶圆清洗设备及其晶圆卡盘、晶圆清洗方法 [P].

赵宏宇 ;

李爱兵 ;

王锐廷 .

中国专利 :CN115706044A ,2023-02-17

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