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晶圆清洗设备
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201821719569.3
申请日：
2018-10-23
公开(公告)号：
CN208954945U
公开(公告)日：
2019-06-07
发明(设计)人：
夏威
辛君
林宗贤
吴龙江
申请人：
申请人地址：
223300 江苏省淮安市淮阴区长江东路599号
IPC主分类号：
H01L2167
IPC分类号：
代理机构：
上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294
代理人：
孙佳胤
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-06-07 | 授权 | 授权 |