晶圆清洗设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN200920073158.6

申请日：

2009-05-31

公开(公告)号：

CN201454923U

公开(公告)日：

2010-05-12

发明(设计)人：

卢夕生杜亮

申请人：

申请人地址：

201203 上海市张江路18号

IPC主分类号：

B08B308

IPC分类号：

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

屈蘅;李时云

法律状态：

专利申请权、专利权的转移

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-03-27	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101543796177 IPC(主分类):B08B 3/08 专利号:ZL2009200731586 变更事项:专利权人变更前权利人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司变更后权利人:中芯国际集成电路制造(北京)有限公司变更事项:地址变更前权利人:201203 上海市张江路18号变更后权利人:100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道18号登记生效日:20130222
2010-05-12	授权	授权
2019-05-21	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):B08B 3/08 申请日:20090531 授权公告日:20100512 终止日期:20180531

共 50 条

[1]

晶圆清洗设备和晶圆清洗方法 [P].

吴俊桃 ;

章志兴 ;

刘本锋 ;

谢志勇 .

中国专利 :CN114188245B ,2025-04-08

[2]

晶圆清洗设备和晶圆清洗方法 [P].

吴俊桃 ;

章志兴 ;

刘本锋 ;

谢志勇 .

中国专利 :CN114188245A ,2022-03-15

[3]

晶圆清洗设备 [P].

姚一现 .

中国专利 :CN221304588U ,2024-07-09

[4]

晶圆清洗设备 [P].

崔亚东 ;

张文福 ;

刘家桦 ;

叶日铨 .

中国专利 :CN208954954U ,2019-06-07

[5]

晶圆清洗结构、晶圆清洗设备 [P].

周尤 ;

姚华东 ;

班恒生 ;

刘柏宏 .

中国专利 :CN223401573U ,2025-09-30

[6]

晶圆双面清洗设备 [P].

吴镐硕 ;

朴灵绪 .

中国专利 :CN213988837U ,2021-08-17

[7]

一种晶圆清洗设备 [P].

陈新来 ;

邓信甫 ;

唐宝国 ;

卢证凯 .

中国专利 :CN217121195U ,2022-08-05

[8]

晶圆清洗设备及晶圆清洗方法 [P].

金在植 ;

张成根 ;

林锺吉 ;

贺晓彬 ;

刘强 ;

丁明正 .

中国专利 :CN114361060A ,2022-04-15

[9]

晶圆清洗设备及晶圆清洗方法 [P].

金在植 ;

张成根 ;

林锺吉 ;

贺晓彬 ;

丁明正 ;

李亭亭 ;

刘金彪 .

中国专利 :CN112017999A ,2020-12-01

[10]

晶圆清洗设备及晶圆清洗方法 [P].

初国超 .

中国专利 :CN111081603B ,2024-02-27

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