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灰阶掩模版结构
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202111094251.7
申请日：
2021-09-17
公开(公告)号：
CN113885294A
公开(公告)日：
2022-01-04
发明(设计)人：
王辉
申请人：
申请人地址：
201203 上海市浦东新区张江高科技园区祖冲之路1399号
IPC主分类号：
G03F132
IPC分类号：
代理机构：
上海浦一知识产权代理有限公司 31211
代理人：
戴广志
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-01-21 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 1/32 申请日:20210917 |
| 2022-01-04 | 公开 | 公开 |