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掩模版检测方法

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202211724713.3
申请日：
2022-12-30
公开(公告)号：
CN118276400A
公开(公告)日：
2024-07-02
发明(设计)人：
罗先刚 乔帮威 曾鑫 高平 郑昊 王璞
申请人：
天府兴隆湖实验室
申请人地址：
610213 四川省成都市天府新区科智路999号
IPC主分类号：
G03F1/84
IPC分类号：
G03F9/00 G03F7/20
代理机构：
代理人：
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2024-07-02 公开 公开
共 50 条
[1]
掩模版、掩模版检测装置、掩模版存在和位姿检测系统及检测方法 [P]. 
黄振伟 ;
胡松立 ;
周志安 ;
高宇航 ;
解奇军 .
中国专利 :CN120295052A ,2025-07-11
[2]
掩模版缺陷检测方法、装置及机台 [P]. 
万佳俊 ;
方斌 .
中国专利 :CN120122389B ,2025-12-12
[3]
掩模版缺陷检测方法、装置及机台 [P]. 
万佳俊 ;
方斌 .
中国专利 :CN120122389A ,2025-06-10
[4]
一种掩模版检测装置、光刻设备及掩模版检测方法 [P]. 
杜艳伟 ;
陆海亮 ;
邓帅飞 ;
王婷婷 ;
宋春峰 .
中国专利 :CN112697794A ,2021-04-23
[5]
掩模版 [P]. 
姚青林 ;
许发生 .
中国专利 :CN308989750S ,2024-12-06
[6]
灰阶掩模版结构 [P]. 
王辉 .
中国专利 :CN113885294A ,2022-01-04
[7]
灰阶掩模版结构 [P]. 
王辉 .
中国专利 :CN113885294B ,2024-06-18
[8]
掩模版检测方法、装置、设备以及存储介质 [P]. 
杨勤丰 ;
何俊龙 ;
张锋 ;
廖文超 ;
张启顺 .
中国专利 :CN118961744B ,2025-07-04
[9]
掩模版检测方法、装置、设备以及存储介质 [P]. 
杨勤丰 ;
何俊龙 ;
张锋 ;
廖文超 ;
张启顺 .
中国专利 :CN118961744A ,2024-11-15
[10]
掩模版扫描装置 [P]. 
丁伟尧 .
中国专利 :CN102087478B ,2011-06-08
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