基板分割装置及基板分割方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710569226.7

申请日：

2017-07-11

公开(公告)号：

CN107651830A

公开(公告)日：

2018-02-02

发明(设计)人：

岩坪佑磨三浦善孝田端淳

申请人：

申请人地址：

日本大阪府

IPC主分类号：

C03B3303

IPC分类号：

代理机构：

北京柏杉松知识产权代理事务所(普通合伙) 11413

代理人：

袁波;刘继富

法律状态：

发明专利申请公布后的撤回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-04-16	发明专利申请公布后的撤回	发明专利申请公布后的撤回 IPC(主分类):C03B 33/03 申请公布日:20180202
2018-02-02	公开	公开
2019-07-16	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C03B 33/03 申请日:20170711

共 50 条

[1]

基板分割装置及基板分割方法 [P].

岩坪佑磨 ;

三浦善孝 ;

田端淳 .

中国专利 :CN107651829A ,2018-02-02

[2]

基板分割装置及基板分割方法 [P].

西尾仁孝 ;

高松生芳 ;

上野勉 .

中国专利 :CN106316089A ,2017-01-11

[3]

基板分割装置及び基板分割方法[ja] [P].

日本专利 :JP6326541B1 ,2018-05-16

[4]

基板分割装置 [P].

酒井敏行 ;

成尾徹 .

中国专利 :CN110466075A ,2019-11-19

[5]

基板分割装置 [P].

广野嘉文 .

中国专利 :CN107240574A ,2017-10-10

[6]

基板分割装置及分割控制方法 [P].

尤文涛 ;

窦海东 ;

张向东 ;

郭士波 .

中国专利 :CN115415850B ,2024-03-22

[7]

基板的分割方法及分割装置 [P].

江岛谷彰 ;

中谷郁祥 .

中国专利 :CN110655316A ,2020-01-07

[8]

基板分割装置及分割控制方法 [P].

尤文涛 ;

窦海东 ;

张向东 ;

郭士波 .

中国专利 :CN115415850A ,2022-12-02

[9]

基板的分割方法及分割装置 [P].

井上修一 ;

苏宇航 .

中国专利 :CN112979149A ,2021-06-18

[10]

脆性材料基板分割装置及分割方法 [P].

西坂雄毅 ;

音田健司 ;

井上修一 ;

熊谷透 .

中国专利 :CN101232982A ,2008-07-30

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