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基板分割装置及分割控制方法
被引：0
申请号：
CN202211130582.6
申请日：
2022-09-16
公开(公告)号：
CN115415850A
公开(公告)日：
2022-12-02
发明(设计)人：
尤文涛
窦海东
张向东
郭士波
申请人：
申请人地址：
215200 江苏省苏州市吴江市吴江经济技术开发区江兴东路1688号
IPC主分类号：
B23Q1709
IPC分类号：
B23Q1508
B23Q1522
代理机构：
北京律智知识产权代理有限公司 11438
代理人：
孙宝海
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-12-02 | 公开 | 公开 |
| 2022-12-20 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):B23Q 17/09 申请日:20220916 |