复合基板的分割方法及分割装置

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201510280256.7
申请日
2015-05-27
公开(公告)号
CN106182152A
公开(公告)日
2016-12-07
发明(设计)人
田村健太 武田真和 村上健二 德毛宏
申请人
申请人地址
日本国大阪府
IPC主分类号
B26D708
IPC分类号
代理机构
北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287
代理人
沈锦华
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
基板分割装置及基板分割方法 [P]. 
岩坪佑磨 ;
三浦善孝 ;
田端淳 .
中国专利 :CN107651829A ,2018-02-02
[2]
基板分割装置及基板分割方法 [P]. 
岩坪佑磨 ;
三浦善孝 ;
田端淳 .
中国专利 :CN107651830A ,2018-02-02
[3]
基板分割装置及基板分割方法 [P]. 
西尾仁孝 ;
高松生芳 ;
上野勉 .
中国专利 :CN106316089A ,2017-01-11
[4]
基板的分割方法及分割装置 [P]. 
江岛谷彰 ;
中谷郁祥 .
中国专利 :CN110655316A ,2020-01-07
[5]
基板的分割方法及分割装置 [P]. 
井上修一 ;
苏宇航 .
中国专利 :CN112979149A ,2021-06-18
[6]
脆性材料基板分割装置及分割方法 [P]. 
西坂雄毅 ;
音田健司 ;
井上修一 ;
熊谷透 .
中国专利 :CN101232982A ,2008-07-30
[7]
贴合基板的分割方法及分割装置 [P]. 
武田真和 ;
木山直哉 ;
田村健太 ;
村上健二 ;
秀岛护 .
中国专利 :CN106079115B ,2016-11-09
[8]
贴合基板的分割方法及分割装置 [P]. 
武田真和 ;
木山直哉 ;
田村健太 ;
秀岛护 ;
村上健二 .
中国专利 :CN106098619A ,2016-11-09
[9]
贴合基板的分割方法及分割装置 [P]. 
江岛谷彰 ;
中谷郁祥 .
中国专利 :CN110722271A ,2020-01-24
[10]
基板分割装置及分割控制方法 [P]. 
尤文涛 ;
窦海东 ;
张向东 ;
郭士波 .
中国专利 :CN115415850A ,2022-12-02