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从具有流量控制装置的气体供给设备向容器分流地供给气体的气体分流供给装置及气体分流供给方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN200480017296.2
申请日：
2004-06-10
公开(公告)号：
CN100538573C
公开(公告)日：
2006-07-26
发明(设计)人：
杉山一彦
池田信一
西野功二
土肥亮介
上野山丰己
申请人：
申请人地址：
日本大阪府
IPC主分类号：
G05D706
IPC分类号：
代理机构：
中国专利代理(香港)有限公司
代理人：
温大鹏;杨松龄
法律状态：
专利权的终止
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-06-02 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G05D 7/06 申请日:20040610 授权公告日:20090909 终止日期:20190610 |
| 2006-07-26 | 公开 | 公开 |
| 2009-09-09 | 授权 | 授权 |
| 2006-09-20 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 |