从具有流量控制装置的气体供给设备向容器分流地供给气体的气体分流供给装置及气体分流供给方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200480017296.2

申请日：

2004-06-10

公开(公告)号：

CN100538573C

公开(公告)日：

2006-07-26

发明(设计)人：

杉山一彦池田信一西野功二土肥亮介上野山丰己

申请人：

申请人地址：

日本大阪府

IPC主分类号：

G05D706

IPC分类号：

代理机构：

中国专利代理(香港)有限公司

代理人：

温大鹏;杨松龄

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-06-02	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G05D 7/06 申请日:20040610 授权公告日:20090909 终止日期:20190610
2006-07-26	公开	公开
2009-09-09	授权	授权
2006-09-20	实质审查的生效	实质审查的生效

共 50 条

[41]

气体供给装置 [P].

丸谷周平 ;

三浦充刚 .

日本专利 :CN117897520A ,2024-04-16

[42]

气体供给装置 [P].

三木义之 ;

白井和成 ;

木村笃史 ;

吉田尚弘 ;

弓田修 .

中国专利 :CN101488577A ,2009-07-22

[43]

气体供给装置 [P].

日下裕之 ;

高田隆祥 ;

高尾和弘 ;

后藤胜彦 ;

涩谷俊树 ;

山田大祐 .

中国专利 :CN104094041A ,2014-10-08

[44]

锌气体的供给方法以及供给装置 [P].

大久保秀一 ;

渊上俊光 ;

岩田好喜 .

中国专利 :CN103282308A ,2013-09-04

[45]

原料气体供给装置和原料气体供给方法 [P].

八木宏宪 ;

诸井政幸 .

中国专利 :CN106987824B ,2017-07-28

[46]

原料气体供给装置和原料气体供给方法 [P].

八木宏宪 ;

成嶋健索 ;

松山中成 .

中国专利 :CN107043927A ,2017-08-15

[47]

船舶、气体燃料供给装置及气体燃料供给方法 [P].

冈胜 .

中国专利 :CN104136740A ,2014-11-05

[48]

浓缩气体供给装置以及浓缩气体供给方法 [P].

右近哲哉 .

中国专利 :CN112313454A ,2021-02-02

[49]

气体供给装置和用于组装气体供给装置的方法 [P].

S·格特纳 ;

S·迈因卡 ;

M·法特达乔 ;

M·佩钦格尔 ;

S·魏森博恩 ;

J·特劳特曼 .

德国专利 :CN120344771A ,2025-07-18

[50]

流量控制装置的排气结构、排气方法以及具备其的气体供给系统和气体供给方法 [P].

西野功二 ;

平田薰 ;

杉田胜幸 ;

小川慎也 ;

井手口圭佑 ;

池田信一 ;

泽地淳 .

日本专利 :CN118786400A ,2024-10-15

← 1 2 3 4 5 →