一种磁控溅射用阴极

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201120040063.1

申请日：

2011-02-17

公开(公告)号：

CN202148349U

公开(公告)日：

2012-02-22

发明(设计)人：

陈曦陆志豪

申请人：

申请人地址：

200092 上海市杨浦区赤峰路63号5号楼311室

IPC主分类号：

C23C1435

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法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-12-18	文件的公告送达	文件的公告送达号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101679288216 IPC(主分类):C23C 14/35 专利号:ZL2011200400631 专利申请号:2011200400631 收件人:上海德化机电科技有限公司文件名称:专利权终止通知书
2012-02-22	授权	授权
2014-05-21	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101582316754 IPC(主分类):C23C 14/35 专利号:ZL2011200400631 申请日:20110217 授权公告日:20120222 终止日期:20130217

共 50 条

[1]

一种磁控溅射用平面阴极 [P].

陈曦 ;

陆志豪 .

中国专利 :CN202307784U ,2012-07-04

[2]

一种磁控溅射镀膜用阴极 [P].

李震 .

中国专利 :CN204281852U ,2015-04-22

[3]

一种中频磁控溅射镀膜用阴极 [P].

李震 .

中国专利 :CN204281851U ,2015-04-22

[4]

磁控溅射用平面阴极及磁控溅射装置 [P].

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN223268739U ,2025-08-26

[5]

一种磁控溅射镀膜用阴极 [P].

李震 .

中国专利 :CN104532198A ,2015-04-22

[6]

一种磁控溅射镀膜用的平面阴极 [P].

郭爱云 ;

赵灿东 ;

周学卿 ;

黄定平 .

中国专利 :CN204959025U ,2016-01-13

[7]

一种磁控溅射平面阴极装置 [P].

谢斌 .

中国专利 :CN215163079U ,2021-12-14

[8]

一种矩形平面磁控溅射阴极 [P].

彭寿 ;

葛承全 ;

张超群 ;

井治 ;

张仰平 ;

李险峰 .

中国专利 :CN203462120U ,2014-03-05

[9]

磁控溅射平面阴极镀膜机用阴极背板及磁控溅射平面阴极镀膜机 [P].

李国伟 ;

王剑涛 ;

陈发伟 ;

李兆廷 .

中国专利 :CN208733217U ,2019-04-12

[10]

磁控溅射旋转阴极 [P].

李忠 .

中国专利 :CN213086094U ,2021-04-30

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